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JCMsuite應(yīng)用：一維周期線柵

時間:2023-04-03 16:29來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點擊:次打印

這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。

S偏振光照明的近場強度

P偏振光照明的近場強度

后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。

參數(shù)掃描

Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度：

在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時，線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下線柵寬度依賴關(guān)系：

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